多路气体质量控制仪

此款产品可以使用三路气路和混合气路，也可三路分别供气单独使用；

可搭配我公司真空气氛管式电炉组成CVD系统一起使用。

工作电压：220V

输出功率：18W

线性：±0.5~1.5%

准确度：±1.5%FS

重复精度：±0.2%FS

工作温度：5~45℃

工作压强：3x106Pa

工作压差范围：0.1~0.05Mpa